基于sio2/si晶片的cvd石墨烯/cvd六方氮化硼异质结
石墨烯/h-bn薄膜的性质:
单层h-bn薄膜上的单层石墨烯薄膜转移到285nm(p掺杂)sio2/si晶片上
尺寸:1cmx1cm 4片装
每个薄膜的厚度和质量由拉曼光谱控制
该产品的覆盖率约为98%
薄膜是连续的,有小孔和有机残留物
高结晶质量
石墨烯薄膜预先单层(超过95%),偶尔有少量多层(双层小于5%)
薄层电阻:430-800ω/平方
石墨烯薄膜以及h-bn薄膜通过cvd方法在铜箔上生长,然后转移到sio2/si晶片上。
硅/二氧化硅晶圆的特性:
氧化层厚度:285nm
颜色:紫罗兰色
晶圆厚度:525微米
电阻率:0.001-0.005欧姆 - 厘米
型号/掺杂剂:p /硼
方向:<100>
前表面:抛光
背面:蚀刻
更多访问:
http://www.sunano-materials.com/sonlist-2349470.html
https://www.chem17.com/st311423/product_36972593.html